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射頻電源
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產(chǎn)品介紹
主要參數(shù)
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  • 技術參數(shù):輸出頻率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz,輸出功率500~5000W。

  • 應用領域:等離子清洗、等離子刻蝕、PECVD等。

功能特點

  • 能耗低、體積小、使用壽命長。

  • 控制精度高,穩(wěn)定性高。

  • 面板可顯示和調(diào)節(jié)頻率、設定功率、正向功率、反射功率、負載功率。

  • 具有過壓、過流、過反射、過溫等保護功能。

  • 支持多種通訊協(xié)議。


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地址: 洛陽市洛龍區(qū)中電光谷產(chǎn)業(yè)園
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